KUREHA

上海呉羽化学がsemicon china2013にて技術セミナーを行う予定

呉羽上海化学が主催者のご依頼に応じてsemicon china2013にて技術セミナーを行う予定となりました。
内容がHotzone中での断熱材の運用に関するご説明。

日時:2013.3/21(木) 午前
場所:上海新国際博覧中心(龍陽路)
分会:Silicon Material and Wafer Processing
発表者大谷 陽

概要:  シリコン半導体、化合物半導体単結晶の製造では、CZ法が主流であり、その結晶引き上げ工程は半導体製造の重要な工程のひとつとされている。  引き上げ工程は、引き上げ装置を用いて、原料をヒーターで加熱・溶融、融液を回転しながら引き上げることにより結晶成長をさせている。  原料の融点以上の温度が必要となる引き上げ工程では、引き上げ装置には、断熱材が必ず必要となる。しかしながら、良好な結晶を得るためには、高温温度域での耐熱性、優れた断熱性、クリーン性、などの条件が求められる。 一方、炭素繊維は、~3,000℃(真空または不活性ガス雰囲気)の温度でもほとんど強度劣化がみられない、高温時でも熱膨張係が小さい、軽量である、などの特徴をもっている。 これらの特徴を持つ炭素繊維を原料とした成形断熱材は、前述した引き上げ装置の断熱材に対する要求特性を満たすことから、主にシリコン半導体引き上炉向けに、多くの実績を上げてきた。

本報告では、
(1)原料となる炭素繊維の種類、特性、
(2)炭素繊維系成形断熱材の種類、特性、
(3)断熱のしくみ、
(4)今後の断熱材の課題、についてを述べる。

皆様のご来場を待ちしておりますので、窓口迄御気軽くお問合せ下さい。

連絡先:Ms.Cai(日本語可)


電話 :021-3996 3060

メール:caixiaoyun@kureha.sh




上海呉羽化学有限公司

2013-02-28